16 квітня, коли кран повільно піднявся, перше обладнання для очищення гідрофторитової кислоти (очищення HF) незалежно розроблене та вироблене Suzhou Jingzhou Technology Co., Ltd. фабрика. , рухався плавно.
Очищення гідрофторної кислоти - це ключове посилання в процесі відображення. Його ефект очищення безпосередньо впливає на кінцеву продуктивність, ефективність та стабільність структури пристрою та пов'язаний зі швидкістю урожайності кінцевого продукту. Очищення гідрофторитової кислоти не тільки видаляє домішки на поверхні активного шару, але й пасивує поверхню, тим самим зменшуючи адсорбційну здатність інтерфейсних домішок. Вимоги до чистоти поверхні є дуже суворими, і теоретично не дозволяє наявності будь -яких частинок, іонів металів або органічних клеїв. Прикріплені, водяні пари та оксидні шари потребують плоскості на атомному рівні на поверхні, щоб забезпечити надійність процесу процесу після обробки.
Час посади: 14.2000 р.